反射式光學(xué)膜厚儀是一款精準(zhǔn)又好用的薄膜厚度測量設(shè)備。它能測低至20納米的超薄薄膜，測量誤差小于1納米，最快每秒可測100次，重復(fù)測量精度高達(dá)0.05納米。它采用雙光源組合，覆蓋紫外到紅外全光譜，抗干擾能力強，在振動或復(fù)雜環(huán)境下也能穩(wěn)定工作。

產(chǎn)品型號：LJ-FT50UV

更新時間：2026-03-12

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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膜厚儀夜視儀管線探測儀測距儀張力儀顆粒分析儀質(zhì)構(gòu)儀氧彈量熱儀油品閃點測定儀測金儀接觸角測量儀快速油質(zhì)分析儀油品檢測儀鐵譜儀鐵量儀物性質(zhì)構(gòu)分析儀便攜式鐵磁性磨屑測量儀便攜式油液污染度檢測儀全自動閃點測定儀全自動噴霧粒度儀濕法激光粒度分析儀偏光應(yīng)力儀手持式智能全樣本毒-品檢測儀便攜式全自動運動粘度測定儀定量采樣機器人便攜式油液顆粒計數(shù)器鐵磁性磨屑分析儀多普勒測風(fēng)雷達(dá) 邊坡監(jiān)測雷達(dá) 工業(yè)視頻內(nèi)窺鏡油氣回收檢測儀雷達(dá)生命探測儀多模復(fù)合生命探測儀誘騙式主動防御系統(tǒng) 便攜式無人機干擾系統(tǒng) 無人機全頻干擾設(shè)備雷達(dá)探測設(shè)備離子色譜柱 TXRF微量元素分析儀水質(zhì)X射線熒光光譜儀流動注射分析儀光譜測金儀漏水檢測儀聲學(xué)成像儀

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品牌	藍(lán)景	價格區(qū)間	10萬-20萬
產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,綜合

針對產(chǎn)線集成需求，藍(lán)景提供緊湊型探頭、光纖連接、模塊化設(shè)計，支持離線臺式檢測與在線嵌入式安裝，可集成到涂布機、鍍膜機、卷對卷生產(chǎn)線等設(shè)備中，實現(xiàn)7×24 小時連續(xù)在線監(jiān)控，實時反饋膜厚數(shù)據(jù)，自動預(yù)警異常，及時調(diào)整工藝參數(shù)，減少不良品產(chǎn)生，提升生產(chǎn)穩(wěn)定性與良品率。設(shè)備抗干擾能力強，可適應(yīng)車間振動、溫漂、電磁干擾等復(fù)雜環(huán)境，長期穩(wěn)定運行。

一、產(chǎn)品簡介

反射式光學(xué)膜厚儀是一款精準(zhǔn)又好用的薄膜厚度測量設(shè)備。它能測低至20納米的超薄薄膜，測量誤差小于1納米，最-快每秒可測100次，重復(fù)測量精度高達(dá)0.05納米。它采用雙光源組合，覆蓋紫外到紅外全光譜，抗干擾能力強，在振動或復(fù)雜環(huán)境下也能穩(wěn)定工作。

二、應(yīng)用領(lǐng)域

反射式光學(xué)膜厚儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體與微電子制造、顯示面板、光學(xué)器件制造、生物醫(yī)學(xué)、汽車及新材料與新能源研發(fā)等領(lǐng)域，能滿足從晶圓鍍膜、顯示面板薄膜到光學(xué)元件鍍膜、醫(yī)用植入物涂層、汽車玻璃膜層及新能源薄膜的高精度厚度檢測需求，助力各行業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量與研發(fā)效率。

反射式光學(xué)膜厚儀

三、測試原理

反射膜厚儀基于白光干涉原理工作，光源發(fā)出的寬帶光入射至待測薄膜表面后，經(jīng)薄膜上下表面反射形成的兩束反射光會因光程差產(chǎn)生干涉，干涉信號中包含薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等關(guān)鍵信息，設(shè)備通過探頭采集干涉后的反射光譜，對特定波段范圍內(nèi)的光譜進行模型擬合后，即可反演解析出薄膜的厚度、光學(xué)常數(shù)及粗糙度等參數(shù)，整個系統(tǒng)由高強度組合光源提供寬光譜入射光，經(jīng)光學(xué)系統(tǒng)傳輸至樣品，反射光返回后由高速光譜模塊采集信號，最終通過上位機軟件完成數(shù)據(jù)處理與結(jié)果輸出。
四、產(chǎn)品特點

1. 精準(zhǔn)測量：支持20nm超薄膜厚檢測，準(zhǔn)確度±1nm、重復(fù)精度0.05nm，滿足精密檢測需求；

2. 高速采樣：最-高采樣速度100Hz，適配產(chǎn)線快速檢測，提升測量效率；

3. 寬光譜覆蓋：采用氘鹵組合光源，光譜覆蓋紫外至近紅外，可解析單層/多層膜厚；

4. 強抗干擾性：高靈敏度元器件搭配抗干擾光學(xué)系統(tǒng)+多參數(shù)反演算法，復(fù)雜環(huán)境下測量穩(wěn)定；

5. 靈活易適配：支持自定義膜結(jié)構(gòu)測量，設(shè)備小巧易安裝，配套軟件及二次開發(fā)包，適配實驗室/產(chǎn)線多場景。

五、技術(shù)參數(shù)

型號	LJ-FT50UV	LJ-FT50NIR
建議工作距離	非聚焦光束，安裝距離5至10mm	安裝側(cè)面出光附加鏡時：34.5mm±2mm；軸向出光時：55mm±2mm；
測量角度	±10°	±5°
光斑類型	彌散光斑；在10mm安裝距離時，光斑直徑約為4mm；	聚焦光斑；約200μm
探頭外徑*長度	Φ6.35*3200mm3	Φ20*73mm
探頭重量	190g	108g（探頭）、49g（附加鏡）
光源類型	氘鹵光源	鹵素光源
波長范圍	190-1100nm	400-1100nm；1000-1700nm
測厚范圍	約20nm~50μm（折射率1.5時）	約50nm~50μm（折射率1.5時）
適配探頭	UV-VIS	VIS-NIR軸向； VIS-NIR徑向；（標(biāo)配其一）
可連探頭數(shù)量	1
探頭防護等級	IP40
重復(fù)精度	0.05nm
準(zhǔn)確度	<±1nm或±0.3%（取較大值）
采樣頻率	Max.100Hz（視求解參數(shù)復(fù)雜度而定）
測控軟件	專用上位機軟件
電源電壓	220V±20V50HzAC/
最-大功率	50W
工作溫度	-10至+40℃
相對濕度	20%至85%RH（無冷凝）
控制器重量	約5000g